エッチングファクター(補正値)

サイドエッチの程度を表す値です。深さ方向へのエッチング量をD、横方向へのエッチング量(サイドエッチ)の片側あたりの量をRとするとD/Rで表されます。通常は1.5~3.5ほどで、この値が大きいほど精度の高いエッチングが行われているということになります。エッチングファクターは素材やエッチング液の種類、条件などで異なります。