機器の設置における基礎部分の⽔平や⾼さ調整が可能に
ベース⽤シムとは、精密機器の設置時に位置や⾼さを微調整するための薄板状の部品です。機器と設置⾯のわずかな段差や傾きを吸収し、⽔平を保つための重要な役割を果たします。
ベース用シムとは
ベース⽤シムは、精密機器の設置時に傾きや⾼さを調整するための薄い⾦属板です。設置⾯が平らでない場合や、機器の重量で凹凸が⽣じる場合にも使⽤されます。
ミクロン単位で厚さが選べるため、正確な位置決めや振動吸収など多⽬的に活⽤され、材質は⽤途に応じてステンレス、アルミ、銅合⾦などが選ばれます。ベース⽤シムは、精密機器の安定した設置に不可⽋な部品です。
UPTが製作する特注ベース用シムの特徴
UPTでは、機器の微調整の課題を解決すべく、得意とするフォトエッチング加⼯技術とさまざまな表⾯処理との組み合わせにより、板厚精度が⾼く、極めて⾼精度な、ベース⽤シムの特注対応を⾏っております。
フォトエッチング加工による高精度な仕上がり
フォトエッチング加⼯で製作したベース⽤シムは、⺟材に⼒や熱が加わることがないため、バリ、変形、歪み、ドロスやデブリが発⽣せず、⾼い精度で仕上がります。また、ドロスやデブリの除去のための追加⼯も不要です。最薄0.004mm〜の理想の板厚精度を実現します。
板厚と材質の組み合わせや表面処理にも対応
ベース⽤シムの製造において、⼀般的な⾦属加⼯⽅法では、特定の板厚と材質の組み合わせに対応することが困難な場合があります。例えば、極薄板の加⼯や、難削材の加⼯などです。
UPTは、⼀般的な⾦属加⼯⽅法では対応が難しい要求にも、ワンストップサービスでお応えします。⾦型不要のエッチング加⼯ならではの低コストメリットと、⾼品質な製品をお届します。
豊富な材料在庫
豊富な材料在庫から最適な材料・板厚を選定可能です。材料は、ステンレス・銅・真鍮・鉄・アルミと様々な材料から選定可能です。ステンレスに関しては、0.005mm刻みで材料を保有しています。チタンやマグネシウムなども対応可能です。
ベース用シムの使い方や用途
ベース⽤シムは、機械の設置時に⾮常に重要な役割を果たします。機械の設置⾯が完全に平らでない場合や、機械の重量によって設置⾯に多少の凹凸ができる場合に、ベース⽤シムを挟み込むことで機械を⽔平に保つことができます。また、機械の⾼さ調整が必要な場合 は、ベース⽤シムを重ねることで所定の⾼さに機械を設置することが可能です。
例えば、半導体製造装置などの⾼い精度が求められる精密機器では、ベース⽤シムを使⽤することで装置を完全に⽔平に設置し、製品の品質を確保しています。その他、モーターベースやカップリングなどの芯出しにも活⽤されます。
このように、ベース⽤シムは機械の安定した設置に⽋かせない重要な部品です。機械の⽤途に合わせて、適切な材質と板厚のシムを選択することが肝⼼です。
ベース用シムの製造事例
UPTでは、これまでに精密機器の軸受けや回転機構周りで発⽣する累積誤差の問題を解決してまいりました。ここでは製造事例の⼀部をご紹介します。
活⽤事例 半導体製造装置に使⽤されるベース⽤シム（素材：SUS304 板厚0.01mm）
【お客様が抱えていた課題】
以前はレーザー加⼯でシムの製作をしていました。レーザー加⼯は薄板加⼯には不向きで、希望する板厚や形状を製作することができませんでした。
【UPTで出来ること】
厚さ0.005mmから、0.005mm刻みで様々な厚さのカスタムシムを製作できます。