『フォトエッチング技術＋拡散接合技術』で創る多層構造のエッチングフィルター
エッチングフィルターとは
エッチングフィルターは、微細なパターンや穴が開いた金属製のフィルターで、フォトエッチング加工技術を用いて製造されます。フォトエッチング技術は、化学薬品を使用して金属表面を選択的に溶解することで、非常に精密なパターンや微細な構造を作成できる技術です。この技術を利用して作られたフィルターは、小さな粒子を通さない微細な穴やパターンを持っており、高精度なろ過が可能です。エッチングフィルターは、主に以下のような用途で使用されます。
・液体やガスのろ過
・マスフローコントローラー向けのバイパス（流量制御）
・半導体製造工程でのパーティクル除去
その精密さと、高いろ過能力から、特に厳しい品質管理が求められる産業分野で広く使用されています。
フォトエッチング＋拡散接合の技術による多層構造のエッチングフィルター
UPTでは、フォトエッチング加工技術と拡散接合技術を組み合わせることで、エッチングフィルターを多層構造にすることが可能です。
エッチングフィルターを多層構造にすることで、通常のフィルターと比べろ過性能が大幅に向上し、各層で異なるフィルター特性を持たせることで、粒子の段階的な除去ができるようになります。
さらに、多層構造にすることで機械的強度が高めることができ、高圧や高温といった厳しい環境でも高い耐久性を実現することができます。
UPTのエッチングフィルターの特徴
◆高い強度
フォトエッチング加工技術で高精度に作成したフィルタを拡散接合技術で積層することで、ろ過性能と機械的強度を両立します。
◆高いメンテナンス性
汚れが付着しにくいフラットメッシュ。 洗浄が可能なため、環境負荷の削減、繰り返し使用ができることによる持続性によりSDGsに寄与します。
◆高いデザイン性
写真の現像製法を用いて自由なパターンのフィルタを作成できます。さらに、拡散接合法を用いることで高アスペクト比の3Dメッシュフィルタの作成が可能です。
◆高い平面度
材料に機械、熱ストレスを加えないため、加工面に変形、歪みが発生しません。バリ、ドロスやデブリも発生しないため、穴加工後の整面処理が不要です。
エッチングフィルターのスペック
| 板厚 | 0.004mm～ |
| 穴径 | 0.07mm～ |
| 材質 | ・SUS304・チタン・銅・SUS430・42アロイ・その他 |
| 表面加工 | ・メッキ・電解研磨・黒処理・ブラスト処理・その他 |
| 納期 | 最短3日~（エッチング加工のみ） 最短2週間~（拡散接合あり） |