在蒸鍍遮罩的製造過程中，需要進行微細的多階段結構和多孔等複雜加工，而切削或雷射等物理加工方法會面臨變形和高成本等問題。本公司使用獨家的光蝕刻與擴散接合加工技術的組合，解決了這些問題，實現了高精度、高品質的蒸鍍遮罩製造。
什麼是蒸鍍遮罩
蒸鍍遮罩是在真空蒸鍍等薄膜形成製程中，用來將任意圖案精確成膜於基板上的重要產品。在電子零件、半導體以及有機EL顯示器的製造中，是不可或缺的關鍵元件，用於精確形成高解析度的電極圖案與子像素結構。
在蒸鍍遮罩的製造過程中，需要以極高的精度加工微細開口部，並且需要抑制因熱膨脹所引起的彎曲或尺寸變動的技術。在要求達到數微米級別的加工精度的同時，製程中的良率下降等因素相互交織，使得量產的難度升高。
蒸鍍遮罩製造事例：實現高精度凹槽與多孔加工
在蒸鍍遮罩的製造中，擁有數十微米級別的階段差的多階段結構，並且具有大量微細孔的結構，在使用切削或激光加工時會面臨變形和成本方面的問題。為此，我們提出了將蝕刻加工和擴散接合技術相結合的加工方法，實現了高精度且低成本的加工方案。
顧客面臨的問題
- 希望成型具有數十微米的極小階差的多個凹槽部位，但在切削或激光加工中容易發生變形或歪曲，實現起來非常困難。
- 需要在多個部位開設直徑數十微米的微細孔，但在常規的物理加工中，必須逐個處理每個孔，這將導致成本和工期的增加。
- 以前使用螺絲固定堆疊的蒸鍍遮罩，但現在希望能縮短組裝工時。
- 在蒸鍍過程中，由於熱膨脹引起的彎曲會使工作件與夾具之間產生間隙，這不僅無法形成銳利的蒸鍍圖案，還會導致尺寸的波動。
UPT的解決方案
- 通過將蝕刻加工與擴散接合技術相結合，成功解決了上述問題。
- 通過擴散接合所形成的積層結構，可以高精度且高重現性地形成每個階段差薄的凹槽部位，且與焊接不同不會產生接著層，所以品質也得以提升。
- 通過蝕刻加工，可以一次性處理大量的微細孔，從而實現了成本和工期的大幅縮減。
- 實現了通過磁力固定，從而減少了組裝工時。
- 通過重新審視材料，抑制了加工過程中的變形。
UPT的製造技術
本公司UPT利用其核心技術——光刻蝕刻技術和擴散接合技術的結合，開發和製造各種產品。通過將這兩種技術結合，與其他加工方法相比，能夠實現更自由的設計，並且可以實現更優越的散熱性能。
光蝕刻技術
光刻蝕刻技術是利用蝕刻液對金屬進行化學反應和腐蝕，從而實現薄金屬板的精密加工。
擴散接合技術
擴散接合技術是將金屬表面在原子層級進行接合，從而生成具有3D結構的金屬零件。