可調整半導體制造裝置等精密設備組裝時發生的累積誤差
組裝半導體制造裝置和模具等精密設備時，會產生累積誤差，因此必須調整間隙。特別是精密儀器，需要微米級的微調。此時則需要使用高精度的墊片。
什麼是間隙墊片
墊片是一種薄板狀金屬部件，用於調整機械部件的位置和填補空隙。在以下情況下墊片將發揮重要作用。
·機械零件需要精確對齊
·零件之間的間隙不均勻
·機械振動和衝擊的吸收
墊片通常以不同厚度的產品成套提供，可根據需要搭配使用。根據具體用途選擇合適的材料和尺寸非常重要。
UPT製造的客製化間隙墊片的特點
UPT為了解決精密儀器的微調整問題，通過將擅長的蝕刻加工技術與各種表面處理相結合，提供極高精度的客製化間隙墊片的製造。
蝕刻加工的高精度完成品
蝕刻加工不需要對原材料加壓或加熱，因此不會發生毛刺、變形和扭曲，能夠製造出高精細的產品。
此外不會發生浮渣與碎屑，無需進行二次加工清除，實現了t0.005～的理想厚度精度。
支持板厚和材質的搭配以及表面處理
關於墊片的製造方式，根據金屬板厚度和材質的不同，有些板厚和材料的組合難以用一般的金屬加工方法製造。
此外，用於光學部件和設備等特殊應用，還需對墊片本身進行表面黑色染色加工，以防止光線繞過或反射。
本公司提供從蝕刻加工到表面處理的一站式服務。
光蝕刻加工不需要高價的模具，不但能夠實現低成本，還能防止發生毛刺和變形。
豐富的材料庫存
能夠從豐富的庫存中選擇最適的材料及厚度。可以選擇不鏽鋼、銅、黃銅、鐵、鋁等各種各樣的材料。在不鏽鋼方面，本公司備有以5μｍ單位的各種不同厚度的材料庫存。此外鈦 和 鎂 等金屬也能夠加工。
與類似產品 (墊圈) 和其他加工方法 (衝壓和雷射加工) 的比較
與類似產品 (墊圈) 的比較
墊片與墊圈相比非常薄，可以進行精密調整，因此特別是在需要細微的間隙調整和位置調整的情況下非常有效。此外，墊片通常需要根據特定的機械要求客製，因此能夠選擇最適合特定用途的材料和形狀。相比之下，墊圈通常以標準尺寸和形狀提供，因此有時候會缺乏靈活性。
與其他加工方法 (衝壓和雷射加工) 的比較
與衝壓和雷射等其他方法相比，蝕刻加工方法可以製造出更高精度的間隙墊片，並且可以精確地再現復雜形狀和精細細節。因此比較容易實現用於特殊用途的客製化設計。此外，蝕刻加工對材料的物理壓力較小，易於保持金屬特性，也適用於製造薄型材料和小型零件，對於大量製造精密間隙墊片非常有效。
間隙墊片的製作事例
目前UPT已經解決了各種領域的機械零件位置調整和間隙填補問題。在此，將介紹一部份墊片的製作事例。
應用事例① 用於半導體製造設備的底座墊片（材料：SUS304 厚度t0.01）
【顧客面臨的問題】
以前用鐳射加工製作墊片。因鐳射加工不適合薄板加工，無法制作所需的板厚和形狀。此外，在交貨期方面也存在問題。
【UPT的方案內容】
使用光蝕刻加工可調整5μm單位的厚度，製作了5-10μm的墊片，並實現了短期間交貨。
應用事例②用於測量儀器的墊片（材料：SUS304 厚度：t0.05）
【顧客面臨的問題】
以前用衝壓加工製作墊片，所以有產生毛刺的問題。
【UPT的方案內容】
使用光蝕刻加工提供無毛刺的高精度墊片，可以實行更細微的間隙調整。
應用事例③ 相機用光學零件墊片環（材料：SUS304＋黑色染色加工 厚度：t0.01）
【顧客面臨的問題】
以前的供應商無法提供從墊片生產到表面處理的一站式服務，訂單跨多家公司，管理複雜。
【UPT的方案內容】
提供從蝕刻加工到黑色染色加工的完整支援。此外，通過利用蝕刻加工的優勢，材料整片同時黑色染色加工，進一步減少了交貨時間和成本。