バッキングプレートの短納期・低コストを実現 ~フォトエッチング+拡散接合~
2023年2月20日
バッキングプレートとは 半導体や液晶パネルの金属薄膜は、スパッタリングという方法で生成しています。スパッタリングは不活性ガスをターゲット金属に衝突させ弾き出された原子を堆積生成する成膜方法です。スパッタリング時は金属( […]
バッキングプレートとは 半導体や液晶パネルの金属薄膜は、スパッタリングという方法で生成しています。スパッタリングは不活性ガスをターゲット金属に衝突させ弾き出された原子を堆積生成する成膜方法です。スパッタリング時は金属( […]