精密機器の隙間、高さ調整に微細金属シム
半導体製造装置・露光機のような精密機械を組み立てる際、公差や累積誤差が発生してしまいどうしても調整が必要となることがあります。特に精密機械に於いては、ミクロンレベルでの微調整が必要となります。
そんな時に使用されるのが、シム・スペーサーです。
UPTのエッチング加工で作るシム・スペーサー
私たちUPTは、精密機械の微調整の課題を解決すべく、得意とするエッチング加工技術と様々な表面処理との組み合わせにより、板厚精度が高く、極めて高精度な、カスタムシム・スペーサーをご提供します。
一般的な金属加工方法の中には、対応が難しい板厚と材質の組み合わせがあり、製作が困難です。また、光学部品・機器などの特殊用途では、光の廻り込みや反射を抑える為にシム・スペーサーそのものに黒色処理が必要な場合もあります。
当社はエッチングから表面処理までワンストップサービスでご提供いたします。
金型が不要なエッチング加工ならではの低コストを実現し、バリや変形を防ぎます。
プレス加工の課題
プレス加工は、金型を製作する事により安価に大量生産が可能ですが、特に精密なシムを製作するうえでは、様々な課題が有ります。
1)金型が高額
数個レベルの試作、小ロットの場合、トータルコスト的に費用負担が大きくなります。
2)バリや歪が発生する
金型で母材へ力を加えて加工する為、どうしてもバリや歪が発生してしまします。
3)数ミクロンの板厚への対応が難しい
弊社が対応可能な板厚4μmなどの極薄の材料への力を加えての加工は困難です。
レーザー加工の課題
レーザー加工は、金型などが不要な為、少量の生産に向いていますが、様々な課題が有ります。
1)加工速度が遅い
エッチング加工やプレス加工と比べると、加工速度は劣ります。
2)バリ、ドロス、デブリ、歪が発生する
加工箇所の表面にレーザー加工特有のドロスやデブリなどの異物が付着してしまいます。
3)変形・反り・歪が発生する
熱による変形・反り・歪が発生してしまいます。
UPTのエッチング加工で作るシム・スペーサーのポイント
①金型不要で安価・短納期・小ロット
高額な金型が不要でオーダーメイド・カスタムメイドで1個からの対応が可能です。安価なフィルムマスクを使用する為、短納期でカスタム製品を製作できます。
シムリング、ベース用シム、スペーサー、お任せください。
②高精細な仕上がり
母材に力や熱などを加えない為、バリ、変形、歪、ドロス、デブリがなく、高精細に仕上がります。ドロスやデブリ除去の為の追加工も必要ありません。t0.005~の理想の板厚精度を実現します。
③豊富な材料在庫
豊富な材料在庫から最適な材料・板厚を選定可能です。材料は、ステンレス・銅・真鍮・鉄・アルミと様々な材料から選定可能。ステンレスに関しては、5μm刻みで材料を保有しています。チタンやマグネシウムなども対応可能です。
ご提案メリット
半導体製造装置・露光機などの微細精密機器向けシム・スペーサーに、安価且つスピーディーで超高精細な仕上がりを実現するエッチング加工での製作をご提案致します。
- 母材に力や熱を加えての加工ではない為、加工後の製品にバリ・変形・歪・ドロス・デブリが発生しません。
- ステンレス・銅・真鍮・鉄・アルミ・チタン・マグネシウム等、あらゆる材質で対応可能。
- 加工後に側面を含めた製品全体に黒色表面処理を行う事により光の反射を抑えられます。(※材質はご相談ください)