半導体のスパッタリング工程において、メタルマスクは基板上に精密なパターンを持つ薄膜を形成するために必要な治具です。メタルマスクを使用することで、スパッタリングプロセスの効率が向上し、量産時の生産性が高まります。UPTで製 […]

ヒーター内蔵型静電チャック 静電チャックとは？静電チャックとは、電気的な力で対象物を吸着させる機器です。対象物を機械的に掴むメカチャックや、吸着によるバキュームチャックなどがある中で、静電チャックの利点は『真空環境で使用 […]

表面処理の重要性 半導体の製造過程においてウエハーの表面処理を均一に滑らかにすることはとても重要です。 半導体の材料となるシリコンインゴット。ダイヤモンドの次に硬く非常に加工が困難な材料です。その材料の表面に半導体を作り […]

金属製LIDとは トランジスタ、抵抗、コンデンサ、ダイオードなど、多数の微細電子部品を一つの半導体基板上に実装し、複雑な演算処理や大量のデータの記憶を行うものを集積回路と呼びます。形態が数cm角程度の小片であるもの多く「 […]